一种激光加工的自动对焦装置及方法
摘要:
本发明公开一种激光加工的自动对焦装置及方法。其装置中,激光加工组件包括导光镜和物方聚焦镜,入射激光经导光镜反射至物方聚焦镜聚焦后射向样品表面;激光对焦组件包括分光调制器、像方聚焦镜、CCD相机和计算机,分光调制器用于将样品表面的反射光分成N束,形成分光光束,像方聚焦镜用于对分光光束进行聚焦,CCD相机用于接收由像方聚焦镜聚焦后的分光光束,获取光斑图像,计算机用于对CCD相机所获取的光斑图像进行拟合,形成光斑直径变化曲线;位移台用于搭载样品;执行机构用于驱动控制位移台移动。本发明可以在激光加工过程中对入射激光进行快速、精确的实时自动对焦,无需复杂的光路和高难度的计算机处理。
公开/授权文献
0/0