Invention Grant
- Patent Title: 电子能量分析装置
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Application No.: CN202210900073.0Application Date: 2022-07-28
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Publication No.: CN115248225BPublication Date: 2024-10-11
- Inventor: 罗捷 , 项舰 , 周帅 , 邱宝军 , 徐军军 , 刘鹏
- Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
- Applicant Address: 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号
- Assignee: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
- Current Assignee: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
- Current Assignee Address: 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号
- Agency: 华进联合专利商标代理有限公司
- Agent 李援开
- Main IPC: G01N23/2273
- IPC: G01N23/2273 ; H01R13/02 ; H01R13/40
Abstract:
本发明涉及一种电子能量分析装置。所述电子能量分析装置包括：栅网本体、导光组件电子检测组件，所述导光组件的出光端插入所述栅网本体中，所述栅网本体的栅网罩罩设在所述出光端的外部，所述导光组件射出的光线用于激发样品表面的电子，通过对所述栅网本体的栅网罩通电实现对所述电子进行筛选，所述电子检测组件位于所述栅网本体内，通过所述电子检测组件对所述电子进行电子检测。
Public/Granted literature
- CN115248225A 电子能量分析装置 Public/Granted day:2022-10-28
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