发明公开
- 专利标题： 一种相态可控的相变薄膜的制备方法
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申请号： CN202210902927.9申请日： 2022-07-29
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公开(公告)号： CN115261789A公开(公告)日： 2022-11-01
- 发明人: 房雨晴 , 孟佳琳 , 王天宇 , 陈琳 , 孙清清 , 张卫
- 申请人： 复旦大学
- 申请人地址： 上海市杨浦区邯郸路220号
- 专利权人： 复旦大学
- 当前专利权人： 复旦大学
- 当前专利权人地址： 上海市杨浦区邯郸路220号
- 代理机构： 北京得信知识产权代理有限公司
- 代理商 孟海娟
- 主分类号： C23C14/06
- IPC分类号： C23C14/06 ; C23C14/58 ; H01L45/00
摘要：
本发明公开一种相态可控的相变薄膜的制备方法，包括以下步骤：采用低温物理气相沉积法在衬底上形成大面积厚度均匀的非晶态Ge2Sb2Te5薄膜；对所述Ge2Sb2Te5薄膜进行快速热退火处理，通过调节退火温度和退火时间，改变薄膜的相态。
IPC分类:
