发明公开
- 专利标题： 一种曳尾式微悬臂梁原子力扫描探针的制备方法
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申请号： CN202210960971.5申请日： 2022-08-11
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公开(公告)号： CN115267261A公开(公告)日： 2022-11-01
- 发明人: 周成刚 , 王秀霞 , 彭芳芳 , 彭金兰 , 周典法 , 杨旭
- 申请人： 中国科学技术大学
- 申请人地址： 安徽省合肥市包河区金寨路96号
- 专利权人： 中国科学技术大学
- 当前专利权人： 中国科学技术大学
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市包河区金寨路96号
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 杨威
- 主分类号： G01Q70/16
- IPC分类号： G01Q70/16
摘要：
本发明提供了一种曳尾式微悬臂梁原子力扫描探针的制备方法，探针制备的主体为SOI片，正面先通过光刻和干法刻蚀先得到探针针尖结构，再通过光刻套刻和干法刻蚀得到复合梁的结构，最后通过干法刻蚀从背面将有效区域的微悬臂梁悬空释放；实验结果表明，该制备方法制备得到的探针其悬臂梁是包含主梁和内梁的复合梁，复合梁的尺寸、厚度、图形可定制，主梁和内梁之间的最小间距可实现1μm，最小厚度可实现1μm。