发明公开
- 专利标题: NOR型存储器件及其制造方法及包括存储器件的电子设备
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申请号: CN202210777446.X申请日: 2022-07-01
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公开(公告)号: CN115274683A公开(公告)日: 2022-11-01
- 发明人: 朱慧珑
- 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 倪斌
- 主分类号: H01L27/11578
- IPC分类号: H01L27/11578 ; H01L27/11565 ; H01L27/11587 ; H01L27/11597 ; H01L29/417 ; H01L23/522 ; H01L21/768
摘要:
公开了一种NOR型存储器件及其制造方法及包括该NOR型存储器件的电子设备。根据实施例,该NOR型存储器件可以包括:设置在衬底上的存储单元层,包括在竖直方向上彼此叠置的第一源/漏层、第一沟道层、第二源/漏层、第二沟道层和第三源/漏层;相对于衬底竖直延伸以穿过存储单元层的栅堆叠,包括栅导体层和设置在栅导体层与存储单元层之间的存储功能层;以及源极线接触部和体接触部中至少之一。源极线接触部相对于衬底竖直延伸以穿过存储单元层,且与存储单元层中的第一源/漏层和第三源/漏层分别电连接。体接触部相对于衬底竖直延伸以穿过存储单元层,且与存储单元层中的第一沟道层和第二沟道层分别电连接。
IPC分类: