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公开(公告)号:CN115064555A
公开(公告)日:2022-09-16
申请号:CN202210647254.7
申请日:2022-06-09
申请人: 西安电子科技大学
IPC分类号: H01L27/11587 , H01L27/1159 , H01L29/78 , G11C11/22
摘要: 本发明涉及一种铁电组装栅场效应晶体管的多值存储器件,包括:衬底层;以及依次层叠设置在衬底层表面的组装栅介质和栅电极;其中,组装栅介质包括介电层以及若干组铁电模块,铁电模块沿着沟道方向间隔设置在介电层内;根据漏极电压的不同控制组装栅介质中极化翻转的铁电模块的数目。本发明的铁电组装栅场效应晶体管的多值存储器件,可以实现3‑bit及以上的高密度多值存储,且各存储态呈现分立的特征,可以有效避免存储器件在受到制备工艺涨落、环境温度涨落、串扰电场以及器件微疲劳导致的极化翻转出现扰动的时候,出现读取错误的问题。
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公开(公告)号:CN113555384A
公开(公告)日:2021-10-26
申请号:CN202110635531.8
申请日:2021-06-08
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: H01L27/24 , H01L27/11504 , H01L27/11507 , H01L27/11587 , H01L27/1159
摘要: 一种半导体装置,包含至少一个选择器装置。每个选择器装置包括自底部至顶部包含底部电极、金属氧化物半导体通道层、以及顶部电极,且位于一基板上方的垂直堆叠;接触底部电极、金属氧化物半导体通道层、以及顶部电极的侧壁的栅极介电层;以及形成于栅极介电层之中,且所具有的顶部表面与顶部电极的顶部表面共平面的栅极电极。上述至少一个选择器装置的每个顶部电极或每个底部电极可接触对应的非易失性存储器元件,以提供单选择器‑单电阻器存储器单元。
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公开(公告)号:CN113471210A
公开(公告)日:2021-10-01
申请号:CN202011094377.X
申请日:2020-10-14
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: H01L27/11565 , H01L27/11568 , H01L27/11582 , H01L27/11587 , H01L27/1159 , H01L27/11597
摘要: 本揭露是关于一种半导体元件,在此揭露3D‑NOR记忆阵列元件与其制造方法。一种方法包含通过形成绝缘材料与虚设材料的交替层形成多层堆叠于基底上。通过执行线快门开关制程形成虚设纳米结构阵列于多层堆叠的通道区域中。一旦形成纳米结构,半导体氧化物材料单一层沉积于虚设纳米结构上且围绕虚设纳米结构。接着沉积记忆薄膜于半导体氧化物材料上并且形成导电缠绕结构于记忆薄膜上。可通过以金属填充材料取代通道区域外的虚设材料层形成源极/位元线结构。阶梯状导体结构可形成源极/位元线结构于相邻记忆阵列的多层堆叠区域中。
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公开(公告)号:CN113380823A
公开(公告)日:2021-09-10
申请号:CN202110474606.9
申请日:2021-04-29
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: H01L27/11587 , H01L27/1159 , H01L27/11597
摘要: 提供了具有多层堆叠件的铁电存储器件,该多层堆叠件的布置在衬底上方并且包括交替堆叠的多个导电层与多个介电层。沟道层穿透多个导电层和多个介电层。多个铁电部分离散地布置在沟道层与多个导电层之间。多个铁电部分彼此垂直分隔开一个或多个非零距离。本申请的实施例还涉及形成铁电存储器件的方法。
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公开(公告)号:CN113299661A
公开(公告)日:2021-08-24
申请号:CN202110566951.5
申请日:2021-05-24
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: H01L27/11587 , H01L27/1159
摘要: 一种半导体器件包括铁电层、第一半导体层、第一栅极、第二半导体层、第二栅极以及接触结构。铁电层具有第一表面及与第一表面相对的第二表面。第一半导体层设置在铁电层的第一表面上。第一栅极在第一表面之上设置在第一半导体层上。第二半导体层设置在铁电层的第二表面上。第二栅极在第二表面之上设置在第二半导体层上。接触结构连接到第一半导体层及第二半导体层。
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公开(公告)号:CN109643720A
公开(公告)日:2019-04-16
申请号:CN201780041826.4
申请日:2017-07-03
申请人: 国立研究开发法人产业技术综合研究所 , 株式会社华哥姆研究所
IPC分类号: H01L27/1159 , H01L21/3065 , H01L21/316 , H01L27/11587
摘要: 提供一种使用宽度为100nm以下且高度为宽度的2倍以上的高纵横比的形状的存储体的半导体存储元件和其制造方法。一种半导体存储元件,具有在半导体基板(1)之上堆叠存储体(2)和导体(3)的层叠构造,存储体(2)的底面(12)与半导体基板(1)接触,存储体(2)的上表面(10)与导体(3)接触,存储体(2)的侧面(11)与隔壁(4)接触而被包围,存储体(2)的底面(12)的宽度是100nm以下,导体(3)与半导体基板(1)之间的最短的距离是存储体(2)的底面(12)的宽度的2倍以上,存储体(2)的侧面(11)的宽度在比底面(12)靠上的任何位置都与底面(12)的宽度相同而一定、或在底面(12)以外的比底面(12)靠上的位置最宽。
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公开(公告)号:CN108987409A
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:CN201810270320.7
申请日:2018-03-29
申请人: 爱思开海力士有限公司
发明人: 李炯东
IPC分类号: H01L27/11585 , H01L27/11587 , H01L27/11597
CPC分类号: G06N3/063 , G06N3/04 , H01L27/11587 , H01L27/1159 , H01L29/42364 , H01L29/4238 , H01L29/78391
摘要: 提供一种具有突触阵列的神经形态器件。神经形态器件的突触阵列可以包括输入神经元、输出神经元和突触。突触可以包括多个彼此并联地电连接的铁电场效应晶体管。
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公开(公告)号:CN112466874B
公开(公告)日:2022-07-22
申请号:CN202011234815.8
申请日:2020-11-08
申请人: 复旦大学
IPC分类号: H01L27/11504 , H01L27/11507 , H01L27/11514 , H01L27/11587 , H01L27/1159 , H01L27/11597
摘要: 本发明属于存储技术领域,具体为一种密排结构的面内读写铁电存储器阵列及其制备方法。本发明的面内读写铁电存储器阵列,其中字线集成于铁电存储单元层面内,位线包括第一位线和第二位线层,布局于铁电存储单元层面外,各位线层具有沿第一方向排列的多条位线及多个间隙,间隙包括交替排列的第一间隙群与第二间隙群。第一导电柱阵列连接字线层和第一位线层,第二导电柱阵列连接字线层和第二位线层,二者错开排列。各导电柱与邻接的字线交叉点间隙区域配置有存储器构件。本发明的铁电存储结构具有不破坏存储层器件的存储功能,能够提高存储单元的存储能力,N层字线层存储单元尺寸为4F2/N,F为特征尺寸,适用于高密度器件,且制备简单、成本低。
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公开(公告)号:CN113497156A
公开(公告)日:2021-10-12
申请号:CN202110696884.9
申请日:2021-06-23
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: H01L29/786 , H01L29/10 , H01L21/336 , H01L21/34 , H01L27/11587 , H01L27/1159 , H01L27/11592 , H01L27/22 , H01L27/24
摘要: 本申请的实施例提供了一种晶体管器件及其制造方法,该晶体管器件包括:衬底;字线,设置在衬底上;栅极绝缘层,设置在字线上;双层半导体沟道,包括:第一沟道层,设置在栅极绝缘层上;和第二沟道层,设置在第一沟道层上,使得第二沟道层接触第一沟道层的侧面和顶面;以及源电极和漏电极,电耦合至第二沟道层。当向字线施加电压时,第一沟道层具有第一电阻,第二沟道层具有与第一电阻不同的第二电阻。根据本申请的其他实施例,还提供了形成半导体器件的方法。
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公开(公告)号:CN113497155A
公开(公告)日:2021-10-12
申请号:CN202110694898.7
申请日:2021-06-23
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: H01L29/786 , H01L21/34 , H01L27/11504 , H01L27/11509 , H01L27/11587 , H01L27/11592 , H01L27/22 , H01L27/24
摘要: 薄膜晶体管及其形成方法,薄膜晶体管包括:衬底;字线,设置在衬底上;半导体层,设置在衬底上,半导体层具有源极区域、漏极区域和沟道区域,该沟道区域设置在源极区域和漏极区域之间并且在垂直于衬底的平面的垂直方向上与字线重叠;氢扩散阻挡层,在垂直方向上与沟道区域重叠;栅极介电层,设置在沟道区域和字线之间;以及源电极和漏电极,分别电耦接至源极区域和漏极区域。
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