一种用于硅片脱胶废水的处理装置及方法
摘要:
本发明公开了一种用于硅片脱胶废水的处理方法,包括均质、预处理、固液分离、杀菌、膜过滤单元,脱胶废水进入原水罐均质化处理后,再进入粗过滤器进行预处理,而后经泵送入固液分离后,采用杀菌处理,杀菌后脱胶废水采用膜处理,保证回用水水质,超滤膜浓水返回预处理系统。本发明的优点是实现脱胶废水回用,为生产提供稳定可靠的水以供脱胶使用,降低污水站的处理负荷。
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