本发明涉及特种电子气体领域，尤其涉及电子级三氯化硼的提纯方法，其包括以下步骤：（S.1）将吸附组合物填充于吸附器中；（S.2）将吸附器抽负处理，除去吸附器中的空气，然后通入高纯三氯化硼气体；（S.3）向吸附器中通入三氯化硼原料气，使得三氯化硼原料气与所述吸附组合物接触，收集从吸附器中流出的气体，得到电子级三氯化硼气体。本发明能够有效将氯化氢杂质与三氯化硼之间形成的配位作用消除，从而提高了对于三氯化硼的吸附提纯效果，同时通过本发明中的吸附组合物能够对杂质气体起到优良的吸附效果，经过简单的吸附处理后的三氯化硼中杂质气体的浓度能够降低至ppb级别。