发明公开

激光干涉仪
摘要:
本发明提供一种激光干涉仪,无论振动元件的振动条件如何,都能够更正确地解调来自测定对象物的多普勒信号。该激光干涉仪具备:光源,射出激光;光分割器,将从光源射出的激光分为第一光路和第二光路;光调制器,具备设置在第一光路或第二光路上、通过流过电流而振动的振动元件,并利用振动元件调制激光;受光元件,接收由设置在第一光路或第二光路上的测定对象物反射的激光,并输出受光信号;以及解调电路,基于基准信号及调制信号,从受光信号解调来自测定对象物的多普勒信号,其中在将流过正在振动的振动元件的电流的振幅值设为Iq[A]、将振动元件的振动频率设为f[Hz]时,满足Iq/f≤1×10‑7。
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