一种微米In与纳米Cu@Ag核壳混合材料互连工艺
摘要:
本发明公开了一种微米In与纳米Cu@Ag核壳混合材料互连工艺,所述工艺包括如下步骤:步骤一:微米In与纳米Cu@Ag核壳混合焊膏的制备;步骤二:基板的处理;步骤三:焊膏的涂覆/印刷;步骤四:热压/电磁感应烧结。微米In与纳米Cu@Ag核壳能够相互配合,充分利用空间,降低孔隙率,能够大幅度地降低原材料的成本,在产业化大批量生产中发挥巨大优势。本发明可实现低温连接高温服役,不仅降低了互连温度和互连条件,还可有效的减少形成接头中的孔隙和孔洞,可在低温无压条件下将芯片与基板互连,完成半导体器件的连接封装,能够较好的应用于半导体器件的制造和微电子封装、电力电子封装等领域。
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