发明公开
- 专利标题: 一种基于太赫兹时域光谱的轴套自润滑涂层厚度检测方法
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申请号: CN202210817283.3申请日: 2022-07-12
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公开(公告)号: CN115435696A公开(公告)日: 2022-12-06
- 发明人: 黄异 , 黄永林 , 钟舜聪 , 陈志雄 , 庄彩虹 , 张政浩 , 刘鑫财
- 申请人: 福州大学 , 福建龙溪轴承(集团)股份有限公司
- 申请人地址: 福建省福州市闽侯县福州大学城乌龙江北大道2号福州大学;
- 专利权人: 福州大学,福建龙溪轴承(集团)股份有限公司
- 当前专利权人: 福州大学,福建龙溪轴承(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 福建省福州市闽侯县福州大学城乌龙江北大道2号福州大学;
- 代理机构: 福州元创专利商标代理有限公司
- 代理商 张灯灿; 蔡学俊
- 主分类号: G01B11/06
- IPC分类号: G01B11/06
摘要:
本发明涉及一种基于太赫兹时域光谱的轴套自润滑涂层厚度检测方法,包括以下步骤:S1、采用反射式太赫兹时域光谱系统,利用空气‑金属镜的反射信号作为参考信号,利用空气‑样品涂层的反射信号作为样品信号,对两个信号作傅里叶变换得到二者的频域信号,由此得到参考信号和样品信号的相位变化和反射率,进而计算样品涂层的折射率;S2、建立太赫兹波在多介质层的轴套自润滑涂层内部传播的物理模型;S3、通过反射式太赫兹时域光谱系统,获得样品的反射时域信号,从而获得样品时域信号中反射峰之间的延迟时间;结合步骤S1获得的样品涂层的折射率以及步骤S2建立的物理模型,计算样品涂层的厚度。该方法有利于对轴套自润滑涂层厚度进行高精度无损检测。