一种基于太赫兹时域光谱的轴套自润滑涂层厚度检测方法

    公开(公告)号:CN115435696A

    公开(公告)日:2022-12-06

    申请号:CN202210817283.3

    申请日:2022-07-12

    IPC分类号: G01B11/06

    摘要: 本发明涉及一种基于太赫兹时域光谱的轴套自润滑涂层厚度检测方法,包括以下步骤:S1、采用反射式太赫兹时域光谱系统,利用空气‑金属镜的反射信号作为参考信号,利用空气‑样品涂层的反射信号作为样品信号,对两个信号作傅里叶变换得到二者的频域信号,由此得到参考信号和样品信号的相位变化和反射率,进而计算样品涂层的折射率;S2、建立太赫兹波在多介质层的轴套自润滑涂层内部传播的物理模型;S3、通过反射式太赫兹时域光谱系统,获得样品的反射时域信号,从而获得样品时域信号中反射峰之间的延迟时间;结合步骤S1获得的样品涂层的折射率以及步骤S2建立的物理模型,计算样品涂层的厚度。该方法有利于对轴套自润滑涂层厚度进行高精度无损检测。

    一种轴套自润滑涂层厚度检测装置

    公开(公告)号:CN218211202U

    公开(公告)日:2023-01-03

    申请号:CN202221788565.7

    申请日:2022-07-12

    IPC分类号: G01B11/06

    摘要: 本实用新型涉及一种轴套自润滑涂层厚度检测装置,该装置基于反射式太赫兹时域光谱系统构建,包括飞秒激光器、太赫兹发射器、太赫兹接收器、分光镜、抛面镜、延迟平台和涂层样品,所述飞秒激光器发出的激光通过分光镜分为两路,一路射向太赫兹发射器,另一路经延迟平台反射后,射向太赫兹接收器;太赫兹发射器发出的太赫兹波通过抛面镜反射后射向涂层样品,在涂层样品中反射后,通过抛面镜射向太赫兹接收器。该方法有利于对轴套自润滑涂层厚度进行无损检测。