发明公开
摘要:
本发明公开了一种MEMS扬声器及其性能提升方法,通过在周端固支的扬声器上施加直流偏置电压扩大其线性工作区,提高输出声压级,并降低失真率。通过施加直流偏置电压,可以使扬声器弯曲,随着直流偏置电压加大,工作模式由弯曲模式向拉伸模式过渡,可以提高扬声器驱动效率/校正扬声器的线性度,允许扬声器在相同失真率要求下,产生更大的位移与声压级输出。通过调节扬声器直流偏置电压的大小,可以扩大扬声器线性工作区间,从而降低扬声器的总谐波失真,提高输出声压级。