发明授权
- 专利标题： 扫描电子显微镜样品的处理方法
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申请号： CN202110640244.6申请日： 2021-06-09
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公开(公告)号： CN115458380B公开(公告)日： 2024-11-08
- 发明人: 高新雨 , 陈果 , 张科 , 丛琳 , 姜开利 , 范守善
- 申请人： 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- 申请人地址： 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室;
- 专利权人： 清华大学,鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- 当前专利权人： 清华大学,鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室;
- 代理机构： 深圳市鼎言知识产权代理有限公司
- 代理商 陈实顺
- 主分类号： H01J37/02
- IPC分类号： H01J37/02 ; G01N23/2202 ; G01N23/2251
摘要：
本发明涉及一种扫描电子显微镜样品的处理方法。所述扫描电子显微镜样品的处理方法包括以下步骤：S1：提供一待观测的样品；S2：提供一碳纳米管阵列，该碳纳米管阵列包括一基底及设置于基底表面的多个碳纳米管；以及S3：从所述碳纳米管阵列中拉取一碳纳米管膜，将该碳纳米管膜铺设在所述样品的表面，该碳纳米管膜包括多个通孔。
公开/授权文献
- CN115458380A 扫描电子显微镜样品的处理方法 公开/授权日：2022-12-09
