本发明提供一种乙烯基三氯硅烷及其生产方法和系统，生产方法包括：将反应釜中溶剂和催化剂混合物的一部分输入一文丘里混合器中，以在其内产生真空并将用于生产乙烯基三氯硅烷的原料引入文丘里混合器中与进入其内中的溶剂和催化剂混合，形成的气液两相混合物经文丘里混合器泄压过程中排入一位于反应釜中并与文丘里混合器相接的反应管里，在反应釜提供的反应条件下，气液两相混合物中的生产原料在催化剂的作用下发生反应，生成反应产物乙烯基三氯硅烷，同时由于文丘里混合器的泄压作用生成的反应产物被闪蒸形成饱和蒸汽逸出反应管外，从而避免了反应产物与原料三氯氢硅发生的副反应，大大降低副产物的生成。反应管中的催化剂和溶剂回到反应釜中。