本发明公开了一种光伏单晶大尺寸硅片料理废气处理方法，包括废气先由吸入一级吸收塔（1），通过淋洗方式，对废气起到均质均量预处理作用；在进入二级喷淋净化塔（2），废气由塔内的导流分布装置分布后，与吸收溶液逆向直接交叉接触处理，然后向下进入内筒填料区域（6），进行液相反应及填料过滤，使废气在塔内具备较长的时间进行充分过滤接触，产生液膜及喷淋发生传质反应，吸收有害物质；然后依次进入三级喷淋净化塔（3）和四级喷淋净化塔（4）内再次进行净化处理，最后经塔出口处设置的进口脱雾装置除雾后，通过引风机送至25m高空达标排放。本发明的优点是保证尾气达标排放，降低废气危害，提高废气处理效率和效果。