一种半导体场效应集成电路及制备方法
摘要:
本发明公开了一种半导体场效应集成电路及制备方法,包括:P型半导体衬底、第一区域、第二区域、绝缘板;所述半导体衬底上左侧设有第一区域,所述第一区域内部形成第一注入区;所述半导体衬底上右侧设有第二区域,所述第二区域内部形成第二注入区,且第一区域与第二区域共面;在第一区域与第二区域上层分别置有绝缘板。通过使用第一注入区、第二注入区对半导体集成电路进行离子注入,改善了N型半导体导电的接触质量,通过设置二氧化硅绝缘层,可以有效防止杂质往衬底表面渗透,提高器件集成电路的可靠性与稳定性。
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