Invention Grant
- Patent Title: 在相邻特征之间形成导电管的方法及在相邻特征之间具有导电管的集成组合件
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Application No.: CN202180029468.1Application Date: 2021-03-12
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Publication No.: CN115516627BPublication Date: 2025-05-02
- Inventor: A·纳亚兹·诺埃蒙 , S·W·鲁塞尔 , T·D·阮 , S·萨卡尔
- Applicant: 美光科技公司
- Applicant Address: 美国爱达荷州
- Assignee: 美光科技公司
- Current Assignee: 美光科技公司
- Current Assignee Address: 美国爱达荷州
- Agency: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- Agent 王龙
- Priority: 15/930,090 20200512 US
- International Application: PCT/US2021/022056 2021.03.12
- International Announcement: WO2021/230966 EN 2021.11.18
- Date entered country: 2022-10-19
- Main IPC: H01L23/528
- IPC: H01L23/528 ; H10D84/03 ; H10D1/68 ; H10D84/85 ; H01L23/532
Abstract:
一些实施例包含一种集成组合件，其具有通过介入空间彼此隔开的一对大致上平行特征。导电管在所述特征之间且大致上平行于所述特征。所述导电管可形成于管路内。所述管路可通过以如下方式在所述特征之间沉积绝缘材料而产生：夹断所述绝缘材料的顶部区，以使所述管路作为所述经夹断顶部区下方的空隙区。
Public/Granted literature
- CN115516627A 在相邻特征之间形成导电管的方法及在相邻特征之间具有导电管的集成组合件 Public/Granted day:2022-12-23
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IPC分类:
