本发明提供一种介孔二氧化硅基脱氧剂及其制备方法和用途，所述脱氧剂包括介孔二氧化硅纳米颗粒和任选地负载在所述介孔二氧化硅纳米颗粒上的氧气吸附剂，其中，所述介孔二氧化硅纳米颗粒的粒径为30～200nm，比表面积为2800～900m/g，孔径为2～10nm。介孔二氧化硅纳米颗粒由于其高表面积而表现出固有的氧吸附能力，并且氧吸附是通过物理吸附发生的，在测试条件下其性能优于市售的脱氧剂。氧气吸附剂的负载进一步增强了介孔二氧化硅纳米颗粒的氧吸附能力，在X射线光电子能谱中可观察到化学吸附现象。