本发明公开了一种飞秒激光极端微孔加工的在线监控方法，包括飞秒激光加工光路模块和飞秒激光极端微孔加工在线监控装置，所述的飞秒激光极端微孔加工在线监控装置是一种在线扫频OCT监控模块，该飞秒激光在线监控装置可以实现飞秒激光加工过程中超高精度在线实时监控，利用光学相干成像技术(OpticalCoherenceTomography，OCT)实现如下实时在线测量精度，测量精度：2.5μm；测量范围(最大测量长度)：6mm；测量方式：在线实时测量；中心波长：1310nm；扫频速度：20kHz。