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公开(公告)号：CN115533347B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202211193981.7
申请日：2022-09-28
申请人： 广西科技大学 , 西安中科微精光子科技股份有限公司
IPC分类号： B23K26/382 , B23K26/70
摘要： 本发明公开了一种飞秒激光极端微孔加工的在线监控方法，包括飞秒激光加工光路模块和飞秒激光极端微孔加工在线监控装置，所述的飞秒激光极端微孔加工在线监控装置是一种在线扫频OCT监控模块，该飞秒激光在线监控装置可以实现飞秒激光加工过程中超高精度在线实时监控，利用光学相干成像技术(OpticalCoherenceTomography，OCT)实现如下实时在线测量精度，测量精度：2.5μm；测量范围(最大测量长度)：6mm；测量方式：在线实时测量；中心波长：1310nm；扫频速度：20kHz。
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公开(公告)号：CN115255609B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202210869768.7
申请日：2022-07-22
申请人： 广西科技大学 , 西安中科微精光子科技股份有限公司
IPC分类号： B23K26/02 , B23K26/382
摘要： 本发明公开了一种用于复杂曲面飞秒激光微孔加工的自适应定位方法，通过测距传感器在叶身上测量若干特征点的位置，以此作为输入与理论模型进行迭代逼近，形成叶身坐标转换矩阵，进而将气膜孔坐标转换为机床坐标得到气膜孔的加工精确位置和方向。
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公开(公告)号：CN115343864B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202210885794.9
申请日：2022-07-26
申请人： 广西科技大学 , 西安中科微精光子科技股份有限公司
IPC分类号： G02F1/01
摘要： 本发明公开了一种啁啾光纤光栅非线性效应精确调谐的方法，针对体光栅作为压缩器其色散量固定不能调节的缺陷，省去了传统的繁琐且不连续的脉宽优化步骤，获得了最优化的飞秒激光脉冲输出，实现了3fs/℃的精确补偿。
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公开(公告)号：CN115533347A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211193981.7
申请日：2022-09-28
申请人： 广西科技大学 , 西安中科微精光子科技股份有限公司
IPC分类号： B23K26/382 , B23K26/70
摘要： 本发明公开了一种飞秒激光极端微孔加工的在线监控方法，包括飞秒激光加工光路模块和飞秒激光极端微孔加工在线监控装置，所述的飞秒激光极端微孔加工在线监控装置是一种在线扫频OCT监控模块，该飞秒激光在线监控装置可以实现飞秒激光加工过程中超高精度在线实时监控，利用光学相干成像技术(OpticalCoherenceTomography，OCT)实现如下实时在线测量精度，测量精度：2.5μm；测量范围(最大测量长度)：6mm；测量方式：在线实时测量；中心波长：1310nm；扫频速度：20kHz。
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公开(公告)号：CN115338533A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202210887116.6
申请日：2022-07-26
申请人： 广西科技大学 , 西安中科微精光子科技股份有限公司
IPC分类号： B23K26/082 , B23K26/382
摘要： 本发明公开了一种用于飞秒激光光束轨迹精确可控的扫描方法，将研究聚焦透镜的入射光束进行平移，使平移方向与光束偏摆方向相反，且平移的距离至少大于光束直径的一半，保证光束的边缘在光线传播方向上与孔轴线大于零度，绕光轴旋转且逐层进给，就实现倒锥孔的成形；同时，在X/Y/Z三个方向上进行协调编程控制，并进行包括功率、焦点位置、扫描时间等影响锥度因素的工艺试验，实现制孔锥度高精度控制工艺技术开发。
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公开(公告)号：CN115343864A
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202210885794.9
申请日：2022-07-26
申请人： 广西科技大学 , 西安中科微精光子科技股份有限公司
IPC分类号： G02F1/01
摘要： 本发明公开了一种啁啾光纤光栅非线性效应精确调谐的方法，针对体光栅作为压缩器其色散量固定不能调节的缺陷，省去了传统的繁琐且不连续的脉宽优化步骤，获得了最优化的飞秒激光脉冲输出，实现了3fs/℃的精确补偿。
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公开(公告)号：CN115255609A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210869768.7
申请日：2022-07-22
申请人： 广西科技大学 , 西安中科微精光子科技股份有限公司
IPC分类号： B23K26/02 , B23K26/382
摘要： 本发明公开了一种用于复杂曲面飞秒激光微孔加工的自适应定位方法，通过测距传感器在叶身上测量若干特征点的位置，以此作为输入与理论模型进行迭代逼近，形成叶身坐标转换矩阵，进而将气膜孔坐标转换为机床坐标得到气膜孔的加工精确位置和方向。
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公开(公告)号：CN217775945U
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202221531212.9
申请日：2022-06-16
申请人： 广西科技大学 , 西安中科微精光子科技股份有限公司
IPC分类号： B23K26/70 , B23K26/046 , B23K26/064
摘要： 本实用新型属于激光精密加工技术领域。一种用于飞秒激光加工柴油喷嘴过程中的穿透感知装置，包括工作台、光学模块、聚焦模块和成像及控制模块；光学模块包括飞秒激光器和和分光板；聚焦模块包括设置在分光板下方且沿加工光路依次放置的第一聚焦光路凸透镜、聚焦光路凹透镜、第二聚焦光路凸透镜；成像及控制模块包括依次设置在分光板一侧的第一成像装置凸透镜、成像装置凹透镜、第二成像装置凸透镜和CCD成像仪；还包括步进电机和工控机，CCD成像仪安置在步进电机上，工控机分别与CCD成像仪和飞秒激光器电性连接。本实用新型能够对被加工件柴油机喷嘴的加工状态进行实时监测，能够降低激光加工喷孔时出现的对壁损伤，提高加工精度。
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公开(公告)号：CN217775926U
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202221531211.4
申请日：2022-06-16
申请人： 广西科技大学 , 西安中科微精光子科技股份有限公司
IPC分类号： B23K26/382 , B23K26/03 , B23K26/04 , B23K26/064 , B23K26/70
摘要： 本实用新型涉及飞秒激光微孔加工技术领域。一种用于复杂曲面的飞秒激光微孔加工定位装置，包括激光调整模块、聚焦加工模块和成像定位监测模块。所述激光调整模块用于对飞秒激光进行光束调整；所述聚焦加工模块设置在激光调整模块的出光侧；所述成像定位监测模块用于对整个飞秒激光加工过程实施定位监测。本实用新型通过CCD成像原理进行定位，能够得到准确的发动机叶片气膜孔的加工位置和方向，便于对复杂曲面进行微孔加工，可以有效解决气膜孔在曲面上的微孔加工定位问题。
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公开(公告)号：CN217775878U
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202221531738.7
申请日：2022-06-16
申请人： 广西科技大学 , 西安中科微精光子科技股份有限公司
IPC分类号： B23K26/082 , B23K26/384 , B23K26/70 , B23K26/04
摘要： 本实用新型涉及飞秒激光加工技术领域。一种用于微孔加工的飞秒激光光束轨迹扫描装置，包括用于发射飞秒激光光束的飞秒激光器，还包括激光器控制模块、光束偏转模块、光束平移模块、聚焦镜和协同控制模块。本实用新型通过控制偏转光楔组与平行平板组的同步运动，激光束在加工过程中实现同步动态平移，并且改变偏转角可使光束横移量发生改变，从而实现加工孔锥度精准可控，实现光束扫描位置的精确控制，提高孔径及锥度的控制精度。
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