Invention Publication
- Patent Title: 观察窗挡板结构和真空镀膜设备
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Application No.: CN202211367527.9Application Date: 2022-11-03
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Publication No.: CN115537759APublication Date: 2022-12-30
- Inventor: 罗捷 , 项舰 , 周帅 , 刘鹏 , 徐军军
- Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
- Applicant Address: 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号
- Assignee: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
- Current Assignee: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
- Current Assignee Address: 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号
- Agency: 华进联合专利商标代理有限公司
- Agent 张捷美
- Main IPC: C23C14/52
- IPC: C23C14/52

Abstract:
本发明涉及一种观察窗挡板结构和真空镀膜设备。观察窗挡板结构包括挡板、轴套、连接杆、磁力驱动组件和锁止件;挡板与观察窗相对设置,且位于真空镀膜设备的炉腔内;轴套设于真空镀膜设备上;连接杆的第一端与挡板连接,连接杆的第二端活动插设于轴套;磁力驱动组件与轴套活动连接,用于通过磁力驱动连接杆绕其轴线转动,使得挡板相对于观察窗转动;锁止件用于限制磁力驱动组件相对于轴套的转动。由于观察窗挡板结构采用磁力驱动连接杆转动,磁力驱动组件只需要通过轴套与连接杆间隔连接,就能带动连接杆转动,因此可以保证炉腔内的真空度。同时锁止件能够防止非人为的外力带动挡板转动,进一步保证了挡板遮挡观察窗的有效性。
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