本申请提供一种低温泵，包括第一低温吸附组件、驱动模组、第二低温吸附组件。第一低温吸附组件包括多个第一吸附孔以用于吸附气体。第二低温吸附组件包括多个第二吸附孔以用于吸附所述气体，多个第二吸附孔和多个第一吸附孔构成气体的吸附路径，第二低温吸附组件受驱动模组驱动而相对于第一低温吸附组件移动。其中当第一低温吸附组件和第二低温吸附组件开始吸附气体时，第二低温吸附组件受驱动模组驱动而远离第一低温吸附组件，第一低温吸附组件和第二低温吸附组件处于分离状态。