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公开(公告)号：CN118959272A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411050802.3
申请日：2024-08-01
申请人： 苏州伊桑诺捷光电科技有限公司
发明人： 董宗杰
摘要： 本发明属于低温传感器技术领域，具体涉及一种全密封低温传感器及基于低温传感器的真空泵，包括本体，通过在泵体上开设的安装口；还包括全密封低温传感器，通过航空插头与安装口固定连接，航空插头通过不锈钢毛细管连接有铜探头，在铜探头内部固定封装有二极管，通过将二极管两极延长线以及二极管外套设的塑料软管设于不锈钢毛细管内，通过固定装置铜探头以及不锈钢毛细管进行固定。本发明设置固定装置，能够对传感器中的铜探头进行固定，确保对真空泵进行低温监测时的精准，同时还能够对传感器进行快速拆卸和安装，进而有利于后续进行维护和维修更换。通过设置转换装置能够对传感器中的信号进行转换和优化，能够提高信号的稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN104595154A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410803728.8
申请日：2014-12-23
申请人： 南京华东电子真空材料有限公司
摘要： 本发明是一种采用蒸散型吸气合金的吸气剂泵系统，其特征是它包括:1) 采用蒸散型吸气合金作为有效吸气材料；2) 自带吸气合金载体；3) 自带激活热源。本发明的优点：通过自带壳体解决了某些真空器件无法接受活性金属附着的问题；通过采用蒸散型吸气材料的主材解决了传统吸气剂泵吸收C、O、N等类型的气体效率偏低的问题，并使本系统不需反复激活，一次激活便可释放全部吸气能力；通过自带激活热源解决了部分真空器件无法高频激活吸气剂的问题，通过内部结构的设计增大了有效面积，提高了吸气速率和吸气量；外形尺寸及安装方式灵活。通过本发明，可满足真空领域及气体纯化领域一些器件对吸气剂泵的要求。
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公开(公告)号：CN102859291A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201180020081.6
申请日：2011-03-28
申请人： 工程吸气公司
摘要： 用于将粉体形式的氢吸气剂结合到氢敏感装置内的改进的解决方案，及应用这些改进的解决方案的氢敏感装置。氢吸气剂系统（10）包括金属网（11），该金属网具有封闭的末端，装有材料粉体。
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公开(公告)号：CN101319668A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200710100269.7
申请日：2007-06-06
申请人： 中国科学院理化技术研究所
IPC分类号： F04B37/04
摘要： 本发明涉及一种用于驱动微米或纳米流体的润湿泵，其包括：储存待泵送液体的微型储液罐；微型管道；微型管道的第一端与所述储液罐相连通；和在使用时通过控制机构的驱动与微型管道的第二端相接触并连通的具有吸水能力材质制做的干燥物质块；使用时，将内部充满液体的微型管道一端与储液罐连通，通过控制机构将干燥材料块与微型管道另一端流体接触，流道中液体会因在干燥材料块中的毛细抽吸而将储液罐中的液体引出；若需关断液体，则切断干燥材料块与微型管道另一端处流体的接触，则流道内流体因缺乏润湿驱动力而自动停止流动。具有操作便捷、常温下工作，无运动部件、易控制，成本极为低廉等优点。
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公开(公告)号：CN1349565A
公开(公告)日：2002-05-15
申请号：CN00807050.4
申请日：2000-04-11
申请人： 工程吸气公司
CPC分类号： C23C14/564 , F04B37/04
摘要： 公开一种当无基体处理并且当处理室内的反应性气体压力低于约10－3毫巴时,通过采用在处理室内已存在的用于操纵和加热制备基体的步骤和设备,将活化的吸气装置与处理室的气氛接触,来提高在基体上沉积薄膜过程的产率的方法。该方法在按照包括在打开处理室和开始制备过程之间的操作步骤(1;2;3;4)顺序应用时尤其有用。也对适合用于所述方法的吸气装置(50;60;70)进行了介绍。
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公开(公告)号：CN118974403A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202280094585.0
申请日：2022-07-26
申请人： LG电子株式会社
摘要： 提供一种往复式压缩机。本说明书的一方面的往复式压缩机可以包括：壳体；驱动马达，配置于所述壳体内；旋转轴，与所述驱动马达连接；缸筒，配置于所述壳体内并形成压缩空间；活塞，随着所述旋转轴的旋转在所述缸筒内进行直线往复运动；阀组装体，包括吸入孔和吐出孔并结合于所述缸筒的前端；吸入消声器，结合于所述阀组装体并与所述吸入孔连通；吸入管，贯穿所述壳体并与所述吸入消声器的消声器孔相向；以及第一引导构件，结合于所述吸入消声器的所述消声器孔并在垂直方向上与所述吸入管重叠。
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公开(公告)号：CN118541544A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202380017116.3
申请日：2023-01-16
申请人： 托卡马克能量有限公司
摘要： 一种在处于部分真空的腔室中操作蒸发泵系统(100)的方法包括以下步骤：加热吸气剂源(102)以形成吸气剂蒸气；将所述吸气剂蒸气沉积到布置在所述腔室内的第一目标表面(106)上以形成吸气剂层(107)；和在所述腔室内提供更新的目标表面，并且所述吸气剂蒸气可以沉积到所述更新的目标表面上。在最后一步中，所述更新的目标表面通过以下步骤提供：(i)从所述第一目标表面(106)至少部分地移除所述吸气剂层(107)和存在于所述吸气剂层(107)内的任何化学吸附的产物和/或物理吸附的产物，在所述腔室内执行所述步骤；和/或(ii)在所述腔室内布置第二目标表面，其中，所述吸气剂源(102)包括锂。
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公开(公告)号：CN115539349A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211150200.6
申请日：2022-09-21
申请人： 杭州富芯半导体有限公司
摘要： 本申请提供一种低温泵，包括第一低温吸附组件、驱动模组、第二低温吸附组件。第一低温吸附组件包括多个第一吸附孔以用于吸附气体。第二低温吸附组件包括多个第二吸附孔以用于吸附所述气体，多个第二吸附孔和多个第一吸附孔构成气体的吸附路径，第二低温吸附组件受驱动模组驱动而相对于第一低温吸附组件移动。其中当第一低温吸附组件和第二低温吸附组件开始吸附气体时，第二低温吸附组件受驱动模组驱动而远离第一低温吸附组件，第一低温吸附组件和第二低温吸附组件处于分离状态。
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