Invention Publication
- Patent Title: 一种离子注入机及离子注入机内衬的制作方法
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Application No.: CN202211123558.XApplication Date: 2022-09-15
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Publication No.: CN115547794APublication Date: 2022-12-30
- Inventor: 赵东艳 , 张同 , 陈燕宁 , 邵瑾 , 付振 , 刘芳 , 吴波 , 邓永峰 , 王凯 , 余山 , 郁文 , 刘倩倩 , 刘春颖
- Applicant: 北京芯可鉴科技有限公司 , 北京智芯微电子科技有限公司
- Applicant Address: 北京市昌平区双营西路79号院中科云谷园11号楼一层;
- Assignee: 北京芯可鉴科技有限公司,北京智芯微电子科技有限公司
- Current Assignee: 北京芯可鉴科技有限公司,北京智芯微电子科技有限公司
- Current Assignee Address: 北京市昌平区双营西路79号院中科云谷园11号楼一层;
- Agency: 北京润平知识产权代理有限公司
- Agent 乔晓粉
- Main IPC: H01J37/16
- IPC: H01J37/16 ; H01J37/30 ; H01J37/317
Abstract:
本发明实施例提供一种离子注入机及离子注入机内衬的制作方法，属于半导体制造及离子注入领域。所述离子注入机至少包括：离子源和腔体，所述离子源与所述腔体相接；所述离子源用于发射离子束；所述腔体用于传输所述离子束；所述腔体的内壁上设有内衬；所述内衬设有凸型结构。所述离子注入机分散了离子束对防护内衬工作表面的冲击作用，延长了防护内衬的使用寿命，降低离子注入的制造成本。
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