含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂及其制造方法、以及感光性树脂组合物及其硬化物
摘要:
本发明提供一种感光性树脂组合物以及其所使用的含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂及含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂的制造方法,所述感光性树脂组合物可通过碱显影实现分辨率优异的图案化,可提供能够适用于耐化学品性优异、而且耐折叠性之类的可靠性也优异的绝缘膜等的硬化物。一种含有聚合性不饱和基的碱可溶性树脂的制造方法,其特征在于,使下述通式(1)所表示的环氧(甲基)丙烯酸酯树脂与二羧酸、三羧酸或者这些的酸酐、及四羧酸或其酸二酐反应。此处,R1表示碳数1~8的烷基、苯基或烯丙基,R2表示氢原子或二环戊烯基,R3表示氢原子或甲基。
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