本发明公开了一种六塔热集成精馏分离有机硅粗单体的系统及方法，特点是包括脱高塔、脱低塔、轻分塔、含氢塔、三甲塔、二甲塔、分离器和混合器；脱高塔通过管路连接有预热器，脱高塔的塔顶气相出口通过第一换热器与分离器的进口连接，分离器的一个出口经第二换热器与混合器的进口连接，分离器的另一个出口经第三换热器与混合器的进口连接，混合器的出口分别与脱高塔和脱低塔连接，脱低塔与轻分塔连接，脱低塔经预热器与二甲塔连接，二甲塔的塔底产品出口分别与辅助再沸器和第三换热器连接；轻分塔经第一换热器与含氢塔连接，含氢塔经第二换热器与三甲塔连接，优点是实现有机硅粗单体高纯度分离和生产能耗的大幅度降低。