低触发高维持电压的双向可控硅静电防护器件及制作方法
摘要:
本发明实施例提供一种低触发高维持电压的双向可控硅静电防护器件及制作方法,包括P型衬底、N型埋层、N型阱;N型埋层左侧设有第一P阱,N型埋层右侧设有第二P阱;第一P阱内设有第一P+注入区、第一N+注入区和第一浮空P+注入区,第一P阱和第二P阱之间设有N型阱,N型阱中间位置设有中间N+注入区,同时,第一P型浅阱PB和第二P型浅阱PB分别设置横跨在第一P阱、N型阱和第二P阱中间位置;N型埋层的上方的左侧和右侧分别设有第一高压N阱和第二高压N阱;第一P+注入区、第一N+注入区连接在一起并作为器件的阳极,第二P+注入区、第二N+注入区连接在一起并作为器件的阴极,如此,该器件能够有效地保护芯片的核心电路,远离闩锁的风险。
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