一种基于弹性软化效应的可调谐薄膜体声波谐振器
摘要:
本发明公开一种基于弹性软化效应的可调谐薄膜体声波谐振器,属于可调谐谐振器技术领域,包括谐振结构和对称位于谐振结构两侧的应力加载结构,应力加载结构包括自下而上依次的第一下电极、第一压电薄膜层和第一上电极,谐振结构包括自下而上依次的应力敏感层、第二下电极、第二压电薄膜层和第二上电极;其中,应力敏感层具有弹性软化效应,与两侧第一压电薄膜层刚性连接,第二下电极与两侧第一上电极不相连。本发明中应力加载结构在逆压电效应下带动与之刚性连接的应力敏感层,使后者杨氏模量发生大范围改变,进而实现大范围可调谐的薄膜体声波谐振器,同时调制信号与激励信号可有效分离,具有体积小、成本低、功耗低、易于大批量生产等优势。
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