发明公开
CN115604873A 一种MOCVD加热元件
审中-实审
- 专利标题： 一种MOCVD加热元件
-
申请号： CN202211226619.5申请日： 2022-10-09
-
公开(公告)号： CN115604873A公开(公告)日： 2023-01-13
- 发明人: 裴艳丽 , 罗铁成 , 王钢 , 陈梓敏 , 卢星
- 申请人： 中山大学(CN)
- 申请人地址： 广东省广州市海珠区新港西路135号
- 专利权人： 中山大学(CN)
- 当前专利权人： 中山大学(CN)
- 当前专利权人地址： 广东省广州市海珠区新港西路135号
- 代理机构： 深圳市创富知识产权代理有限公司
- 代理商 范伟民
- 主分类号： H05B3/02
- IPC分类号： H05B3/02 ; H05B3/20 ; H05B3/03 ; C23C16/44 ; C30B25/10
摘要：
本发明公开一种MOCVD加热元件，包括电热体，所述电热体被配置为弯曲并形成有拐角段；其中，所述拐角段具有拐角；所述拐角段上配置有面积增大部，用于增加拐角处的面积；所述面积增大部具有至少一个周期性起伏部，所述至少一个周期性起伏部位于所述拐角内；该MOCVD加热元件通过配置有面积增大部和周期性起伏部增加拐角处的面积，可以有效减少拐角处的温差，提高了温度均匀性，提高了外延质量。
