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发明公开
一种MOCVD加热元件审中-实审

公开(公告)号：CN115604873A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211226619.5

申请日：2022-10-09

申请人： 中山大学(CN)

发明人： 裴艳丽 , 罗铁成 , 王钢 , 陈梓敏 , 卢星

IPC分类号： H05B3/02 , H05B3/20 , H05B3/03 , C23C16/44 , C30B25/10

摘要： 本发明公开一种MOCVD加热元件，包括电热体，所述电热体被配置为弯曲并形成有拐角段；其中，所述拐角段具有拐角；所述拐角段上配置有面积增大部，用于增加拐角处的面积；所述面积增大部具有至少一个周期性起伏部，所述至少一个周期性起伏部位于所述拐角内；该MOCVD加热元件通过配置有面积增大部和周期性起伏部增加拐角处的面积，可以有效减少拐角处的温差，提高了温度均匀性，提高了外延质量。