一种微电极及其制备方法和应用
摘要:
本发明提供了一种微电极及其制备方法和应用。本发明的微电极的制备方法,包括以下步骤:在PDMS基体上首先旋涂聚二甲基戊二酰亚胺,然后再旋涂光刻胶,加热;根据需要的电极图案,对旋涂有光刻胶的PDMS基体进行曝光、显影;在PDMS基体上制备电极,然后剥离未曝光的光刻胶和聚二甲基戊二酰亚胺,即制备得到微电极。本发明的微电极的制备方法,利用聚二甲基戊二酰亚胺能够很好地旋涂在高疏水的PDMS基体上的特性,可以在不破坏PDMS基体结构的情况下旋涂上光刻胶,这样既避免了使用刻蚀和转印的复杂工艺,同时也可以快速制备大面积微米级别的微电极;本发明利用光刻技术来制备电极图案,可以快速实现制备微米级别的电极,从而实现智能玻璃及透明显示的应用。
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