发明公开
CN115665962A 引出带状离子束的离子源
审中-实审
- 专利标题: 引出带状离子束的离子源
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申请号: CN202211634819.4申请日: 2022-12-19
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公开(公告)号: CN115665962A公开(公告)日: 2023-01-31
- 发明人: 朱昆 , 颜学庆 , 蔡实现 , 黄维
- 申请人: 广东省新兴激光等离子体技术研究院
- 申请人地址: 广东省广州市白云区龙归街科泰二路13-19号白云高新区·产业创新园17号第5栋整栋
- 专利权人: 广东省新兴激光等离子体技术研究院
- 当前专利权人: 广东省新兴激光等离子体技术研究院
- 当前专利权人地址: 广东省广州市白云区龙归街科泰二路13-19号白云高新区·产业创新园17号第5栋整栋
- 代理机构: 广州市律帆知识产权代理事务所
- 代理商 王园园
- 主分类号: H05H1/46
- IPC分类号: H05H1/46 ; H05H1/16 ; H05H1/24
摘要:
本申请涉及一种引出带状离子束的离子源,包括长方体结构的弧腔以及设于弧腔外部的磁场结构;弧腔的第一侧面上设有微波窗和进气口,微波窗用于向弧腔内导入微波能量,进气口用于向弧腔内部通入气体;弧腔的第二侧面上设有引出带状束离子的引出极,用于从弧腔内引出带状离子束;其中第二侧面是与第一侧面相对的侧面;磁场结构沿着弧腔长度方向设置,用于在弧腔内产生设定磁场强度且沿着弧腔长度方向平行延伸的共振面;气体进入弧腔后,在磁场结构产生的强磁场和微波窗导入的微波能量作用下达到电子回旋共振状态产生等离子体,并将离子从引出极引出;该技术方案,引出大宽度的带状离子束,解决了当前离子源的状离子束流宽度受限问题。
公开/授权文献
- CN115665962B 引出带状离子束的离子源 公开/授权日:2024-01-23
IPC分类: