引出带状离子束的离子源
摘要:
本申请涉及一种引出带状离子束的离子源,包括长方体结构的弧腔以及设于弧腔外部的磁场结构;弧腔的第一侧面上设有微波窗和进气口,微波窗用于向弧腔内导入微波能量,进气口用于向弧腔内部通入气体;弧腔的第二侧面上设有引出带状束离子的引出极,用于从弧腔内引出带状离子束;其中第二侧面是与第一侧面相对的侧面;磁场结构沿着弧腔长度方向设置,用于在弧腔内产生设定磁场强度且沿着弧腔长度方向平行延伸的共振面;气体进入弧腔后,在磁场结构产生的强磁场和微波窗导入的微波能量作用下达到电子回旋共振状态产生等离子体,并将离子从引出极引出;该技术方案,引出大宽度的带状离子束,解决了当前离子源的状离子束流宽度受限问题。
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