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公开(公告)号：CN115665962B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202211634819.4
申请日：2022-12-19
申请人： 广东省新兴激光等离子体技术研究院
摘要： 状离子束，解决了当前离子源的状离子束流宽度本申请涉及一种引出带状离子束的离子源， 受限问题。包括长方体结构的弧腔以及设于弧腔外部的磁场结构；弧腔的第一侧面上设有微波窗和进气口，微波窗用于向弧腔内导入微波能量，进气口用于向弧腔内部通入气体；弧腔的第二侧面上设有引出带状束离子的引出极，用于从弧腔内引出带状离子束；其中第二侧面是与第一侧面相对的侧面；磁场结构沿着弧腔长度方向设置，用于在弧腔内产生设定磁场强度且沿着弧腔长度方向平行延伸的共振面；气体进入弧腔后，在磁场结构产生的强磁场和微波窗导入的微波能量作用
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公开(公告)号：CN117080038A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311138881.9
申请日：2023-09-05
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/317
摘要： 本申请涉及一种离子束分析磁铁结构及离子注入设备，所述装置包括：铁轭结构，内置于铁轭结构内部的二极场组件和多极场组件，沿着离子束流传输路径分布设置的真空盒；二极场组件和多极场组件封闭在铁轭结构内部，铁轭结构用于导磁；二极场组件分布在真空盒两侧，多极场组件分布在真空盒周围；多极场组件产生的多极磁场与二极场组件产生的二极磁场在离子束流传输路径上形成混合磁场；离子束流在真空盒中进行传输，离子束流在混合磁场的作用下偏转及在窄方向上进行聚焦，输出净化的离子束流。该技术方案，在传输相同宽度离子束的情况下，分析磁铁的纵向利用率高，可以减小分析磁铁的整体体积和质量，降低分析磁铁的造价和运行成本。
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公开(公告)号：CN117393407A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311373979.2
申请日：2023-10-23
申请人： 广东省新兴激光等离子体技术研究院
IPC分类号： H01J37/21 , H01J37/141 , H01J37/147 , H01J37/30
摘要： 本发明涉及离子注入机领域，公开了一种用于带状离子束的质量分析磁铁系统，该系统共由一个四极聚焦磁铁、一个二极偏转磁铁和一个分析狭缝组成；其中四极聚焦磁铁对离子源引出的大尺寸、大散角离子束进行初始的长轴聚焦，短轴散焦；二极偏转磁铁产生高度均匀的偏转磁场，利用离子质荷比的不同进行分离、过滤掉包含在离子束中的杂质离子；分析狭缝宽度和位置可调，从而实现离子的精确选择。本发明的优势在于：本发明中的四极聚焦磁铁对离子的初始聚焦可处理离子源引出的高度发散的离子并可有效减小离子所需的传输孔隙，以及本发明的二极偏转磁铁能够提供高度均匀的偏转磁场，从而实现高质量分辨率，且系统结构简单、紧凑。
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公开(公告)号：CN115665962A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211634819.4
申请日：2022-12-19
申请人： 广东省新兴激光等离子体技术研究院
摘要： 本申请涉及一种引出带状离子束的离子源，包括长方体结构的弧腔以及设于弧腔外部的磁场结构；弧腔的第一侧面上设有微波窗和进气口，微波窗用于向弧腔内导入微波能量，进气口用于向弧腔内部通入气体；弧腔的第二侧面上设有引出带状束离子的引出极，用于从弧腔内引出带状离子束；其中第二侧面是与第一侧面相对的侧面；磁场结构沿着弧腔长度方向设置，用于在弧腔内产生设定磁场强度且沿着弧腔长度方向平行延伸的共振面；气体进入弧腔后，在磁场结构产生的强磁场和微波窗导入的微波能量作用下达到电子回旋共振状态产生等离子体，并将离子从引出极引出；该技术方案，引出大宽度的带状离子束，解决了当前离子源的状离子束流宽度受限问题。
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公开(公告)号：CN117080039A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311138890.8
申请日：2023-09-05
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/317
摘要： 本申请涉及一种分析磁场装置及离子注入机；所述装置包括：扇形设计的铁轭结构，内置于铁轭结构内部的二极场组件，沿着离子束流传输路径分布设置的真空盒；二极场组件封闭在铁轭结构内部，且分布在真空盒两侧，在离子束流传输路径上产生二极磁场，二极磁场通过铁轭结构形成磁力线回路；铁轭结构的一设定位置处还设有至少一组四极场组件，四极场组件与二极场组件在离子束流传输路径上产生混合磁场；离子束流在真空盒中进行传输，在二极磁场的作用下偏转，混合磁场作用于离子束流，对离子束流的窄方向上进行聚焦。在传输相同宽度离子束的情况下，分析磁铁的纵向利用率高，可以减小分析磁铁的整体体积和质量，降低分析磁铁的造价和运行成本。
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公开(公告)号：CN116666179A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310743138.X
申请日：2023-06-21
申请人： 广东省新兴激光等离子体技术研究院
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/08 , H01J37/30 , H01J37/317
摘要： 本申请涉及一种分析磁铁结构及宽幅离子源，该分析磁铁结构包括：设于离子束束流传输线上的第一永磁体、电磁铁以及第二永磁体；第一永磁体产生第一磁场，所述电磁铁产生电磁场，所述第二永磁体产生第二磁场；第一磁场对离子束产生垂直于参考平面的第一垂直偏转力，偏转后的离子束中射入到电磁场产生参考平面方向上的平面偏转力，偏转后的离子束中入射到第二磁场，产生垂直于参考平面的第二垂直偏转力，偏转后的离子束离开第二磁场进行输出。该技术方案，应用于离子注入机中对离子源输出的宽幅离子束在两种偏转力的作用下进行纯化，降低了宽幅离子源的分析磁铁结构复杂性，简化了离子束拓宽结构，降低对束流传输线的要求。
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公开(公告)号：CN117080038B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202311138881.9
申请日：2023-09-05
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/317
摘要： 本申请涉及一种离子束分析磁铁结构及离子注入设备，所述装置包括：铁轭结构，内置于铁轭结构内部的二极场组件和多极场组件，沿着离子束流传输路径分布设置的真空盒；二极场组件和多极场组件封闭在铁轭结构内部，铁轭结构用于导磁；二极场组件分布在真空盒两侧，多极场组件分布在真空盒周围；多极场组件产生的多极磁场与二极场组件产生的二极磁场在离子束流传输路径上形成混合磁场；离子束流在真空盒中进行传输，离子束流在混合磁场的作用下偏转及在窄方向上进行聚焦，输出净化的离子束流。该技术方案，在传输相同宽度离子束的情况下，分析磁铁的纵向利用率高，可以减小分析磁铁的整体体积和质量，降低分析磁铁的造价和运行成本。
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公开(公告)号：CN117080039B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202311138890.8
申请日：2023-09-05
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/317
摘要： 本申请涉及一种分析磁场装置及离子注入机；所述装置包括：扇形设计的铁轭结构，内置于铁轭结构内部的二极场组件，沿着离子束流传输路径分布设置的真空盒；二极场组件封闭在铁轭结构内部，且分布在真空盒两侧，在离子束流传输路径上产生二极磁场，二极磁场通过铁轭结构形成磁力线回路；铁轭结构的一设定位置处还设有至少一组四极场组件，四极场组件与二极场组件在离子束流传输路径上产生混合磁场；离子束流在真空盒中进行传输，在二极磁场的作用下偏转，混合磁场作用于离子束流，对离子束流的窄方向上进行聚焦。在传输相同宽度离子束的情况下，分析磁铁的纵向利用率高，可以减小分析磁铁的整体体积和质量，降低分析磁铁的造价和运行成本。
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公开(公告)号：CN115662675B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202211631489.3
申请日：2022-12-19
申请人： 广东省新兴激光等离子体技术研究院
摘要： 本申请涉及一种离子分离器、离子同轴传输束线及离子束加速器，所述离子同轴传输束线包括离子分离器和离子合束器；其中，离子分离器包括同轴连接的第一电磁场结构和第二电磁场结构；离子合束器包括串联连接的第三电磁场结构和第四电磁场结构；离子分离器用于将不同离子束进行分离成多个同轴平行传输的离子束流；离子合束器用于通过将所述同轴平行传输的离子束流合并成同轴传输的离子束流。本申请的技术方案，具有束线长度短，体积小巧灵活的特点，可以有效分离不同类型的离子束流，过滤不需要的离子，并实现多种离子束合并到一条束流线上，同时同轴加速性能。
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公开(公告)号：CN117894653A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410126410.4
申请日：2022-12-19
申请人： 广东省新兴激光等离子体技术研究院
IPC分类号： H01J27/18 , H01J37/08 , H01J37/317
摘要： 本申请涉及一种引出带状离子束的离子源，包括长方体结构的弧腔以及设于弧腔外部的磁场结构；弧腔的第一侧面上设有微波窗和进气口，微波窗用于向弧腔内导入微波能量，进气口用于向弧腔内部通入气体；弧腔的第二侧面上设有引出带状束离子的引出极，用于从弧腔内引出带状离子束；其中第二侧面是与第一侧面相对的侧面；磁场结构沿着弧腔长度方向设置，用于在弧腔内产生设定磁场强度且沿着弧腔长度方向平行延伸的共振面；气体进入弧腔后，在磁场结构产生的强磁场和微波窗导入的微波能量作用下达到电子回旋共振状态产生等离子体，并将离子从引出极引出；该技术方案，引出大宽度的带状离子束，解决了当前离子源的状离子束流宽度受限问题。
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