- 专利标题: 一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法
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申请号: CN202211351298.1申请日: 2022-10-31
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公开(公告)号: CN115676773B公开(公告)日: 2023-06-27
- 发明人: 李洋 , 王瑞 , 常顺宇 , 耿延泉 , 赵守鑫 , 邵文柱 , 甄良 , 徐成彦
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 代理机构: 哈尔滨市松花江联合专利商标代理有限公司
- 代理商 侯静
- 主分类号: B81C1/00
- IPC分类号: B81C1/00 ; B82Y40/00
摘要:
一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法,涉及一种对丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法。本发明是要解决现有的微纳加工技术加工精度低、制造工艺复杂和可加工材料受限的技术问题。本发明选用可加热的原子力探针作为加工工具,制备二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白异质结构,按照设定的加工轨迹和加工尺寸在二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行可控尺寸加工,制备微纳结构。利用热探针刻划加工的微纳米制造方法是一种具有加工方法简单、易于操作、加工环境需求低、可加工材料广泛、可实现纳米级加工精度等优势的微纳米制造方法。
公开/授权文献
- CN115676773A 一种利用热探针对二维过渡金属硫属化物/丝素蛋白柔性衬底进行微纳结构加工的方法 公开/授权日:2023-02-03