发明公开
- 专利标题: 线性光源和平凸柱面透镜的一致性检测方法和装置
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申请号: CN202211310492.5申请日: 2022-10-25
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公开(公告)号: CN115683568A公开(公告)日: 2023-02-03
- 发明人: 兰海燕 , 李士昌
- 申请人: 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
- 申请人地址: 浙江省宁波市云龙镇石桥村;
- 专利权人: 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司,盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
- 当前专利权人: 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司,盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市云龙镇石桥村;
- 代理机构: 上海市汇业律师事务所
- 代理商 王函
- 主分类号: G01M11/02
- IPC分类号: G01M11/02
摘要:
本发明实施例提出的平凸柱面透镜的检测方法和线性光源的检测方法,能以较高的效率拣选出批量的具有较好的一致性的该线性光源6和该平凸柱面透镜7,能够有效改善照明效果不一致的状况,尽可能地确保在不同的设备中,同一物体在相机中成像的一致性,从而针对同一对象的检测结果的差异性不会过大,减少不良检测对象进入下道工序。本发明实施例提出的平凸柱面透镜夹具和应用了该平凸柱面透镜夹具的测量台,为非标的线性光源6和平凸柱面透镜7提供了在半导体、面板行业,或其他产业的Defect高精度(微米,甚至纳米级)量测、检测等领域中能够直接适用的检验方法和装置,能获得可靠的验收依据,推动了相关领域的标准化的发展进程。