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公开(公告)号：CN117038505A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310948367.5
申请日：2023-07-31
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677 , G01N21/95 , G01N21/01
摘要： 本发明提供一种晶圆检测装置和方法，装置包括设置在基台上的XY机构和图像采集机构，图像采集机构包括图像采集器和测距模块，测距模块位于图像采集器的一侧；XY机构上设有升降机构，升降机构的升降端设有晶圆载台。方法包括预先测定标定物与图像采集器的测量镜头之间的距离，装载有待测晶圆的晶圆载台根据蛇形路径从测距模块至图像采集器形成的方向移动进行采图检测，通过对焦距离预测值修正待测晶圆在采图检测过程中与图像采集器的对焦距离。本发明通过把实时测定的对焦距离值与预先测定的对焦距离值比对修正，从而使得对晶圆正常采图时就能保证采图的质量，并且检测装置结构简单，从很大程度上提升了晶圆采图检测的效率，降低了采图检测成本。
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公开(公告)号：CN115683568A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211310492.5
申请日：2022-10-25
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明实施例提出的平凸柱面透镜的检测方法和线性光源的检测方法，能以较高的效率拣选出批量的具有较好的一致性的该线性光源6和该平凸柱面透镜7，能够有效改善照明效果不一致的状况，尽可能地确保在不同的设备中，同一物体在相机中成像的一致性，从而针对同一对象的检测结果的差异性不会过大，减少不良检测对象进入下道工序。本发明实施例提出的平凸柱面透镜夹具和应用了该平凸柱面透镜夹具的测量台，为非标的线性光源6和平凸柱面透镜7提供了在半导体、面板行业，或其他产业的Defect高精度(微米，甚至纳米级)量测、检测等领域中能够直接适用的检验方法和装置，能获得可靠的验收依据，推动了相关领域的标准化的发展进程。
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公开(公告)号：CN117031865A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310948309.2
申请日：2023-07-31
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 本发明提供一种同一光路切换双相机光路装置和方法，装置包括设置于相机座上的第一相机和第二相机，装置设有可活动的反射镜，通过改变反射镜的位置使得入射光束分别位于第一相机和第二相机的入射光路。方法包括把入射光束设置于第一相机的入射光路上，移动反射镜至远离第一相机的镜头，入射光束入射至第一相机的镜头；移动反射镜至第二相机的入射光路上，入射光束通过反射镜反射至第二相机的镜头。本发明通过活动机构改变第一棱镜和第二棱镜的位置，使得入射光束分别位于第一相机和第二相机的入射光路，从而使得同一路光路入射至两个相机时光线清晰，并且结构简单，降低了成本以及调试难度。
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公开(公告)号：CN115507342A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211171501.7
申请日：2022-09-26
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 本发明提出的基于透镜有效焦距的调整治具，在调整打光效果的过程中始终保持了透镜距打光区域的距离是该透镜的工作距离L，因此该打光区域获得的光斑始终是最锐利光斑，维持了良好的打光效果，方便从不同的角度观察同一个缺陷，避免了产品缺陷的漏检，提高了产品良率。而且，本发明提供的调整治具在大量应用时，可以方便地优化为标准模组，能保证相同的打光效果，有益于确保相机采图的一致性，进而保证设备稳定性。
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公开(公告)号：CN114152626B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202210115378.0
申请日：2022-02-07
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 本发明涉及一种应用于缺陷高度测量的方法及装置，其中，方法包括将相机对准待检测缺陷；带动所述相机沿垂直于所述待检测缺陷的方向单向移动，并控制所述相机每移动系统预设间隔距离就进行一次拍摄，以拍摄到的各张图片中的各相邻像素点之间灰度差值的绝对值的总和与所述相机的位移距离为依据，获取所述待检测缺陷的高度。通过本发明的方法及对应的装置利用拍摄到的缺陷的照片的灰度差值的差异与相机的移动距离来获得缺陷高度，可基于普通相机也能满足对缺陷高度进行检测的需求，有效降低检测成本，提高适应性，且保障了检测的精度及检测的效率，有效控制产品的质量。
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公开(公告)号：CN116300048A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310103113.3
申请日：2023-02-13
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： G02B26/02
摘要： 本发明提出一种狭缝切换装置，该装置包括：狭缝组件1，用于光路中光通量的调节。该狭缝组件1包括：一个或多个狭缝片11、支架12和导轨13。该狭缝片11上开有尺寸固定的狭缝14。该狭缝片11在该支架12上以逐片层叠的方式排列。每个该狭缝片11都有相应的该导轨13对应，该导轨13安装在该支架12上。该狭缝片11能够通过沿着相应的该导轨13移动，使得该狭缝14进入或退出该光路。该装置解决了现有技术中体积较大、增加光路光程的距离、狭缝刀口加工的工艺性复杂且成本高、结构复杂、批量设备的调试困难等问题，提供了一种简易适用又具有较高的精度的狭缝调节技术。
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公开(公告)号：CN115690670A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211170330.6
申请日：2022-09-23
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： G06V20/52 , G06V10/24 , G06V10/40 , G06V10/764
摘要： 本发明公开了一种晶圆瑕疵智能识别方法和系统。该方法包括：获取晶圆的表面图像；晶圆的表面图像和标准模板图像进行定位配准；分别计算晶圆的表面图像和标准模板图像的灰阶直方图，并计算出各自灰阶直方图中的最大值，再计算这两个最大值的差值；对于晶圆的表面图像有效区域内的每个像素的灰阶值加上差值，将其与标准模板图像对应位置的灰阶值作比较，对差异大于设定阈值的标记为瑕疵点像素；基于瑕疵点像素计算出每个瑕疵的连通区域面积大小，得到瑕疵图片；把每个检测到的瑕疵图片，依次输入卷积神经网络分类器，识别出每个瑕疵的类别；根据识别的瑕疵类别和数量，对产品进行等级判定。
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公开(公告)号：CN117080156B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311345153.5
申请日：2023-10-18
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/683
摘要： 本发明提供了一种用于晶圆检测的载台装置，包括底座、直驱旋转电机、旋转平台、三个第一升降机构、三个第一导向机构、真空吸盘等部件。本发明载台装置的旋转平台独立设置，由直驱旋转电机驱动；第一升降机构布置在旋转平台上，减少第一升降机构的负载，提高升降调焦响应速度；旋转平台和第一升降机构独立运行，不会相互影响，提高运动稳定性；由三个第一升降机构驱动真空吸盘运动，等边三角形的结构稳定性高，保证真空吸盘平稳运动；由三个第一导向机构对真空吸盘运动方向进行导向，且三个第一导向机构呈等边三角形布置，进一步提高了运动稳定性，从而保证检测精度，满足晶圆高精度检测需要。
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公开(公告)号：CN117074739B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311345176.6
申请日：2023-10-18
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
IPC分类号： G01R1/04
摘要： 本发明提供了一种用于晶圆检测的气浮运动装置，包括机架、基台、气浮承载座、Y轴运动模块、X轴运动模块。本发明的气浮运动装置采用独立的气浮承载座支撑载物台移动，Y轴运动模块直接以基台作为气浮工作面，X轴运动模块整体堆叠设置在Y轴运动模块上，Y轴运动模块和X轴运动模块均采用气浮轴承实现气浮式移动，装置整体刚度高，承载能力强，运动稳定性好，可以满足晶圆高精度检测要求。
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公开(公告)号：CN115685567A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211324015.4
申请日：2022-10-27
申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 , 盛吉盛精密技术(宁波)有限公司
摘要： 本发明提出一种照明区域可调的照明装置，该装置仅通过对一个光阑的移动，就巧妙地实现了两种光斑形状的切换，适应了不同的照明需求，而且能够适用于长距离均匀照明，增加了该照明装置的用途，也为现场的机台设备节省了空间；此外，针对现在应用较多的通过改变可变焦透镜的焦距的方式而言，因为不涉及透镜的移动，就没有光轴倾斜与光照度分布不均匀的问题，改善了光斑切换过程的照明的稳定性。进一步地，该光阑孔为矩形、该出光孔为圆形的设计，分别为线阵相机和面阵相机提供了相匹配的照明。更进一步地，又提出了应用该照明装置的图像采集系统，为发挥该照明装置的效能提供了解决方案。
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