一种柔性压电能量收集器及其制备方法
摘要:
本发明公开一种柔性压电能量收集器及其制备方法,包括:在衬底的第一表面形成图形化的牺牲层;在牺牲层远离衬底的表面形成底电极;在底电极远离牺牲层的表面采用奇偶层差异退火工艺形成压电层;在压电层远离底电极的表面形成顶电极;腐蚀牺牲层将压电结构转印到柔性衬底上,得到柔性压电能量收集器。通过实施本发明,采用对牺牲层进行图形化处理,减少器件腐蚀剥落时间,提高转印成功率;在形成压电层时,每层薄膜进行一次热处理,且奇数层和偶数层采用的热处理工艺不同,形成的压电层薄膜致密性高,从而提高了最终形成的收集器的输出性能。此外,最终制备得到的柔性压电能量收集器能够用于电力场景中振动能量的收集,满足当前振动能量收集需求。
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