一种三氯氢硅附除杂的方法及系统
Abstract:
本发明公开一种三氯氢硅吸附除杂的方法,包括:将含有杂质的三氯氢硅液体通入到液固流化床中,并加入吸附剂,对所述三氯氢硅液体进行吸附除杂;将吸附杂质后的吸附剂排出到再生反应器进行再生处理;将再生后的吸附剂返回到所述液固流化床再次进行吸附除杂。本实发明还公开一种三氯氢硅吸附除杂的系统。本发明可对三氯氢硅除杂工艺进行优化,实现在线连续再生,大大提高吸附除杂效率。
Patent Agency Ranking
0/0