本发明公开超薄全固态钽电解电容器及制备方法，将厚度20‑80μm的钽箔化学抛光后进行电化学刻蚀，得到刻蚀箔；将刻蚀箔在磷酸水溶液进行阳极氧化，得到阳极箔；将阳极箔置于PEDOT:PSS的水分散液中，真空下浸渍，烘干，形成导电聚合物阴极；在导电聚合物阴极的正反面上滴加硫酸，静置后，用甲醇冲洗后烘干，得到超薄全固态钽电解电容器。本发明利用脉冲刻蚀制备了具有超高比表面积的超薄的刻蚀钽箔，一方面在很大程度上降低了埋入式电容器的厚度，使得超薄全固态钽电解电容器的厚度小于100μm；另一方面又极大地提升了埋入式电容器的电容密度，制备方法简单，成本低。