太赫兹金属空芯矩形波导腔体海量电铸制造方法
摘要:
本发明公开了太赫兹金属空芯矩形波导腔体海量电铸制造方法,通过电铸制备太赫兹金属空芯矩形波导腔体的下覆盖板;下覆盖板上同时电铸多个太赫兹金属空芯矩形波导腔体的腔体侧壁制成具有多个波导腔体侧壁的工件;电铸制备上覆盖板,将上覆盖板盖合在具有多个波导腔体侧壁的工件的上面,通过金‑金热压键合技术封装为一体;切割修整得到多个单独的太赫兹金属空芯矩形波导腔体。本发明的太赫兹金属空芯矩形波导腔体海量电铸制造方法,制作速度快,且精度高,太赫兹金属空芯矩形波导腔体内部表面质量好。
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