本发明公开了一种微合金化提升AlCrMoTaTi难熔高熵合金高温抗氧化性能的方法，属于高温金属材料技术领域。该方法是通过在AlCrMoTaTi难熔高熵合金中添加微量元素M，M应为Si、Y、B的一种，M的添加量应≤1，元素M的微量添加，并不改变原体系的相组成，但可以富集在AlCrMoTaTi难熔高熵合金晶界，形成填充作用，当AlCrMoTaTi难熔高熵在1300℃高温氧化时，元素M可以通过晶界扩散并填充氧化膜间隙，增加氧化膜稳定性和粘附性，在经过10小时的连续氧化后，该方法可将AlCrMoTaTi难熔高熵的氧化增重降低3倍以上，氧化增重≤2mg/cm2。