一种无机非金属颗粒包覆材料及其调控方法
摘要:
本发明属于颗粒表面镀膜方法技术领域,具体涉及一种无机非金属颗粒包覆材料及其调控方法,方法包括以下步骤:(1)提供前驱体溶液,前驱体用于形成金属化合物的目标膜层;(2)在流化床反应器内装填待包覆的无机非金属颗粒,并将所述前驱体溶液气化后与形成目标膜层所需的反应气体一同从流化床反应器的底部通入,然后在无机非金属颗粒形成流化态条件下进行流化床等离子化学气相沉积;并根据所需目标膜层厚度控制流化床反应器中前驱体溶液组成及其气化后的通入速率和沉积时间。本发明的方法能较为精确地调节目标膜层的厚度,且所得无机非金属颗粒包覆材料的堆积密度大,高温下阻隔效果好。
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