一种通过CVD载气周期性控制制备二维TaS2的方法
摘要:
本发明涉及到二维材料的制备技术领域,提供了一种通过CVD载气周期性控制制备二维TaS2的方法,包括以下步骤:(1)采用五氯化钽和单质硫作为前驱体,通过在Ar气氛中研磨S和TaCl5,得到混合物,再放入前温区的石英舟内,同时衬底放置于后温区;(2)将步骤(1)完成后,先通过控制加热温度,让混合物气化,在周期性控制的载气Ar/H2流速的作用下运输到衬底处反应,沉积得到层数可控的2D TaS2;(3)将步骤(2)沉积所得的TaS2在稳定Ar/H2气流流速下保温,再降至室温后取出样品。该方法制备工艺简单,成本低,载气周期性脉冲可以简易的控制前驱体的输送量,使沉积的TaS2层数可控,在光电器件、传感器和储能器件等领域都具有广阔的应用前景。
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