本发明提供一种多晶硅高沸物的裂解处理方法，包括以下步骤：1)在预处理单元中对多晶硅高沸物进行蒸馏处理；预处理单元包括依次连通的加热搅拌装置和装填有金属杂质处理剂的填料塔；金属杂质处理剂按照质量份数包括：碱金属氯化物900～1000份、碱土金属氯化物2～10份、过渡金属元素氯化物1～5份；2)将经过蒸馏处理后的多晶硅高沸物与HCl一同通入催化裂解反应单元中进行催化裂解反应，在有机胺催化剂的作用下，得到氯硅烷化合物。本发明的方法利用填料塔中金属杂质处理剂降低氯化铝杂质与高沸物的分离难度，通过蒸馏处理的方式高效除去容易损耗有机胺催化剂的氯化铝杂质，因而具有更好的裂解效果和更低的裂解成本。