本发明涉及人工智能领域，公开了一种CVD设备的温度控制方法及系统，用于实现CVD设备的温度智能控制以及提高温度控制的准确率。所述方法包括：对初始温度数据进行数据标准化处理，得到标准化温度数据；获取标准化温度数据的时间戳数据，并按照时间戳数据对标准化温度数据进行特征筛选处理，得到特征温度数据：对特征温度数据进行热场功率分析，得到目标CVD设备对应的功率数据；获取多个工艺流程信息，并根据功率数据对多个工艺流程信息进行加热器温度控制，生成每个工艺流程信息对应的加热器温度控制数据；将加热器温度控制数据输入预置的设备温度控制分析模型进行设备温度控制分析，得到每个工艺流程信息对应的温度控制分析结果。