本发明提供一种基于晶圆传输状态数据的损害性预测方法，涉及晶圆传输技术领域，所述预测方法包括如下步骤：步骤S1，获取晶圆传输过程中的机械臂状态信息；步骤S2，对所述机械臂状态信息进行分析；步骤S3，获取异常历史记录和异常晶圆批次；步骤S4，统计异常晶圆批次的损失率和损失占比系数；步骤S5，对异常晶圆的损失率和机械臂状态信息数据进行再计算；步骤S6，根据工作中机械臂的状态信息数据对晶圆损失率进行预测；本发明通过设置损害性预测机械臂，通过采集损害性预测机械臂的状态信息，再对状态信息进行分析和处理，根据处理结果对晶圆损失率进行预测；为预测晶圆损失率提供了数据支持。