本发明提供一种耐受激光功率的液晶光学相控阵器件及其制备方法。本发明液晶光学相控阵器件，自下至上依次包括：基底、阵列电极层、取向层、液晶层、取向层、导电层、基底；所述阵列电极层的每个电极上以及导电层上设置有亚波长阵列孔结构。本发明巧妙绕开了常规的技术思路，通过在导电层薄膜表面制备亚激光波长的增透阵列结构，实现需求激光波段的高透过性能，从而弥补当前液晶相控阵光束偏转器件在耐受激光功率方面的技术短板。该技术途径不仅可以有效降低激光能量在器件内部形成的热累积，又极大程度地提高了光能利用率，进而提升整个器件的功能性水平。