一种无焦激光镜组、精密装调装置及精密装调方法

    公开(公告)号:CN115826258A

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202211642284.5

    申请日:2022-12-20

    IPC分类号: G02B27/62 G02B27/09 G02B27/00

    摘要: 本发明公开了一种无焦激光镜组、精密装调装置及精密装调方法,无焦激光镜组包括元件,所述元件设置有至少两个;镜框,所述镜框用于对元件进行固定;以及连接杆,所述连接杆至少设置三根,每一根所述连接杆将多个镜框连接在一起;精密装调装置包括激光光源、半反半透镜、第一扩束/缩束镜组、反射镜、第二扩束/缩束镜组以及波前传感器;装调方法包括:S01、获取参考波像差;S02,无焦激光镜组光学元件调整与测试;S03、锁定光学元件位姿关系;S04、无焦激光镜组组装;S05、无焦激光镜组复测;既不会带来色差,也不存在波前差难以准确扣除的问题,并且能够实现良好的装调效果。