一种双曲面或椭球面反射镜光轴精密标定装置及标定方法
摘要:
本发明公开了一种双曲面或椭球面反射镜光轴精密标定装置,其包括:由前至后同轴布置的干涉仪、高精度球面标准镜、待标定反射镜组件、内调焦望远镜;高精度球面标准镜中心开孔,干涉仪发出球面波测试光束,入射到待标定反射镜组件后再反射到高精度球面标准镜上,之后沿原路返回,进入干涉仪与参考光束发生干涉,实现干涉测量。本发明通过高精度自准直方法,实现测量基准高精度转换,通过调节使干涉仪发出的球面波测试光束的汇聚中心及高精度球面标准镜曲率中心连线、双曲(椭球)面反射镜光轴、内调焦望远镜光轴、光轴标定工装反射镜法线相互平行,本发明测量精度高,重复精度高。
0/0